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微量水蒸氣發生器模擬除霧用通過精密計量泵控制進液量，經相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉化成水蒸氣，穩定地將一路液體蒸發。自主研發的相變汽化模塊優勢：蒸發混合穩定并有非常寬的蒸發范圍。它的應用范圍較廣泛，主要為實驗室產生流量可調、溫度可控的水蒸氣，也可作為液體的相變發生器。